采用电子束共蒸发法在熔融二氧化硅基板上沉积了不同Al₂O₃掺杂量的HfO₂-Al₂O₃混合涂层，研究了材料成分和退火温度对HfO₂-Al₂O₃混合涂层的化学状态、晶体结构、透射光谱、折射率、光学带隙和皮秒激光损伤阈值(LIDT)性能的影响，为制备具有更高皮秒损伤阈值的反射涂层提供了明显的支撑。

沉积和退火后的混合涂层HfO₂-Al₂O₃的性能

完成人：朱美萍、邵建达（邵建达教授工作室）

学术/社会影响：成果发表于Applied Surface Science, 2022, 579: 152192